- 耐プラズマ性、低価格を特長とする特殊フッ素ゴム(特殊FKM)です。当社が有するブレンド技術により、プラズマによるゴムの重量減少やクラック発生などを抑えるのと同時に、パーフロロゴム(FFKM)と比較して大幅な低コスト化を実現しました。
- プラズマ曝露による重量減少やクラックなどが起きにくい材料です。
- 非固着性に優れるため、可動部でも好適使用できます。
- 低含有金属なので、パーティクルの問題が低減できます。
- 半導体・液晶製造装置のうちプラズマ環境に曝されるシール部、FKMでは寿命やパーティクルに問題がある箇所、FFKMではコスト・性能が高すぎる箇所に適しています。
製品詳細
ブレイザー® Oリング-FE
TOMBO No. 2675-FE
製品特徴
使用範囲
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基本物性
| ASTM略号（ゴムの種類） | - | |
| 特長 | 耐プラズマ | |
| JIS記号 | - | |
| 常態物性 | タイプAデュロメーター硬さ | 60 |
| 引張強さ[Mpa] | 11.4 | |
| 伸び[%] | 230 | |
| 引張応力[100%伸び時] | 3.5 | |
| 圧縮永久歪特性 | 温度×時間[℃]×[hrs] | 100Ｘ72 |
| 圧縮永久歪[%] | 9 | |
| 耐老化性 | 温度×時間[℃]×[hrs] | - |
| タイプAデュロメーター硬さ変化 | - | |
| 引張強さ変化率[%] | - | |
| 伸び変化率[%] | - | |
使用される産業分野
半導体、産業用機器、液晶 など
